文章出处：技术支持|阅读量：76|发表时间：2025-07-28
主题释义：
电子特气——是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。晶圆制造主要包括清洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等工艺，从单个芯片生成到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子气体，因此电子特气对于半导体材料来说是鱼与水的 密不可分的关系。
特气的种类繁多，我们今天聚焦特气的一个重要分支——电子特种气体，是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的一类气体。随着半导体产业的市场规模增长，与之息息相关的电子特气市场份额也逐年增加。>>>商务洽谈，点此处，在线咨询
“将电子特气列为国家重点鼓励发展产业，有力推动电子特种气体产业的发展。”这一利好，让国内企业纷纷加大研发投入，不断突破技术难关，为早日实现电子特种气体产品的国产替代而努力。基于研发突破瓶颈限制，追求高纯度特气的需求，电子特种气体的洁净车间扮演着重要的角色，肩负着提纯控质的艰巨要求。本文就跟随小编的介绍，简单了解一下电子特气车间工程。
我们以含氟特气洁净车间为例进行讨论，含氟特气洁净车间需要经过纯化、重装、分析检测、气瓶存储几个关键核心工艺区，这些工艺段的洁净空间要根据工艺阶段与气体特性差异化分级建设，CEIDI西递指导意见如下：
这也是依据中国电子特气行业相关政策的要求，对特气在半导体制造环节中清洁、刻蚀、沉积、掺杂以及光刻过程中，气体的纯度与精确性的明确要求——通常是99.999%(5N)甚至更高所做出的核心控制目标。也就是说，电子特气车间的特殊性决定了工程的难度，这也是很多工装或设备总包商的盲点所在，以致于不得不求助于专业洁净工程商寻求整体解决方案。CEID西递市场部也接到许多寻求解决此类技术难题的项目需求。
其实，如果用一句话来阐述特气工程的设计思路，我们认为：“整个设计都要贯穿洁净与防爆要求的矛盾点，也就是防爆设计与气流组织的平衡点去构思整个解决方案”。
我们先聊洁净工程部分：
把握万级(ISO 8级)与局部百级(ISO 5级)组合的技术方案。
万级部分实现建议：
气流组织：换气25-30次/h，局部FFU层流罩;三级过滤：G4+F8+H13高效过滤器;压差控制：核心区+15Pa，梯度递减;材料工艺：彩钢板密封+环氧防静电地坪;人员管理：洁净服+风淋室。动态监测粒子/温湿度，定期检漏维护。
局部百级实现建议：
可以通过充装口、阀门连接处需设置百级层流罩(FFU+ULPA过滤器)来实现，防止金属微粒脱落污染气体，达到半导体级特气≤0.1μm颗粒物要求。
电子特种气体车间往往涵盖甲类、乙类与非防爆区，从CEIDI西递的设计方案中可以看出：关于防爆 ，我们的设计师采取的是确定分级分区管控体系，将甲类与乙类车间做差异化设计。
甲类车间采用物理隔离与泄爆设计：
装饰装修：采用钢筋混凝土防爆墙(耐火极限≥3h)分隔甲类区与非防爆区，泄爆窗采用轻质金属框架+夹胶玻璃(泄爆压力≤0.1MPa)，确保爆炸时冲击波定向释放。钢制防爆门，带自闭式气密封条(关闭压力≥50Pa)。
通排风：用EX认证离心风机+防静电PVC风管足组成防爆型排风系统，维持12次/h换气，风机入口加装阻火器，风管每15m设泄爆片，排风口远离人员区域。喷淋系统与可燃气体探测器联动。
线路敷设：电缆选用阻燃铜芯电缆穿镀锌钢管，管口密封用防爆胶泥。桥架选用铝合金材质(无火花)，与非防爆区交界处设置防火隔断。
接地系统：独立防静电接地网(铜棒+降阻剂)，与防雷接地间距≥20m;设备接地线采用6mm²黄绿双色线，连接处镀锡处理。
乙类车间主要是采用压力控制管控：
正压控制与氧浓度管理，可选FFU+高效过滤器(H14级)维持相对正压(+5Pa~+10Pa)，氧气浓度传感器实时监控(报警阈值设定为23.5%vol)，与新风系统联动稀释。
非防爆区：
采用常规装饰装修设计。
此外，做装修设计方案的时候，设计团队需要充分了解特气属性，技术方案要围绕其属性因素展开布局。以本文我们讨论的含氟特气为例，其特殊性为氟化物(如WF₆)遇水生成HF，会腐蚀设备并产生颗粒物，因此在方案设计中我们的设计师除了防爆设计也会着重考虑湿度控制与防腐技术方案。
针对电子特气车间的防腐要求，需从材料选择、密封工艺、结构设计、设备防护四大维度进行针对性防腐处理，限于篇幅我们列举一些常见的材料选型建议，当然施工工艺的优劣对整个防腐系统的验收起重要作用，例如良好的密封与接缝处理能杜绝泄漏点;不锈钢管道的焊接工艺、焊后电解抛光的不漏项步骤等等。
在半导体制造工艺迈向3nm节点的今天，电子特气洁净车间已不仅代表着独立的气体生产空间，更是支撑产业升级的关键基础设施，是半导体Fab厂必备的配套工程，其洁净厂房工程建设是一项高度专业化的系统工程，涉及防爆、防腐、洁净度控制、温湿度管理等多重要求(篇幅限制不能详细列举)。若您的企业有电子特气或半导体产业上下游工程建设需求，欢迎随时联系，我们将为您提供专业EPC工程解决方案，涵盖规划、设计、施工、调试及验收全流程服务。
咨询热线：021-62250299 / 400-666-1693
专业团队，全程技术支持，助力洁净工程高效落地!
+V在线聊：18016460418
相关阅读：
全国统一热线
上海市虹桥商务区富力环球中心
